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日本进口低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U6H 爱发科
产品型号:CRYO-U6H
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征轻便小巧。我们最小的标准产品。 适用于实验室的小型真空系统。 多台操作(最多 3 台) 超高真空(10-8Pa以下)
产品介绍.
日本进口低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U6H 爱发科
抽速(20℃)
氮
升/秒
750
氢
1,100
氩气
620
水
2,100
极限压力
帕(托)
10
-7
(10
-9
)
流速
氩气
帕・升/秒(托・升/秒)
1.1×10
3
(7.9)
氢
1.1×10
2
(0.8)
泵送能力
氩气
帕・升(托・升)
5.6×10
7
(4.2×10
5
)
氢
3.1×10
5
(2.3×10
3
)
冷却时间(电源循环)
小值(Hz)
80/70(50/60)
安装法兰
UVG-150,UFC-203
压缩机组
C10T,C10AT
重量
公斤
19
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